Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon

Citation

Soin, Nor Hayati and Majlis, Burhanuddin Yeop (2006) Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon. Pertanika Journal of Science & Technology, 14 (1 & 2). pp. 41-52. ISSN 0128-7680

Abstract

Kertas kerja ini membentangkan hasil kajian simulasi mengenai kesan jenis larutan pemunar ke atas keadaan potong bawah penjuru yang terhasil pada struktur-struktur penjuru cembung diafram beralun silikon (l00). Diafram yang terlibat dalam kajian ini dihasilkan dengan menggunakan teknik punaran anisotropik dengan larutan kalium hidroksida (KOH) dan larutan tetrametil amonia hidroksida (TMAH) sebagai pemunar. Kerja-keIja simulasi telah dijalankan dengan menggunakan perisian proses punaran anisotropik Intellisuite. Berdasarkan geometri struktur penjuru cembung terpunar dan kemunculan satah-satah baru silikon, diafram beralun silikon yang dipunarkan di dalam larutan TMAH didapati mengalami keadaan potong bawah penjuru yang lebih ketara berbanding diafram yang dipunarkan dalam larutan KOH.

Download File

Preview

PDF
Kajian_Mengenai_Kebersandaran_Pembentukan_Keadaan_Potong.pdf
Download (3MB)

Additional Metadata

Item Type:	Article
Divisions:	Faculty of Engineering
Publisher:	Universiti Putra Malaysia Press
Keywords:	Diafram beralun, punaran anisotropik, satah barn silikon
Depositing User:	Nur Izyan Mohd Zaki
Date Deposited:	30 Nov 2009 06:33
Last Modified:	27 May 2013 07:09
URI:	http://psasir.upm.edu.my/id/eprint/3609
Statistic Details:	View Download Statistic

Actions (login required)

View Item