Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon

Soin, Nor Hayati and Majlis, Burhanuddin Yeop (2006) Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon. Pertanika Journal of Science & Technology, 14 (1 & 2). pp. 41-52. ISSN 0128-7680

[img] PDF
3159Kb

Abstract

Kertas kerja ini membentangkan hasil kajian simulasi mengenai kesan jenis larutan pemunar ke atas keadaan potong bawah penjuru yang terhasil pada struktur-struktur penjuru cembung diafram beralun silikon (l00). Diafram yang terlibat dalam kajian ini dihasilkan dengan menggunakan teknik punaran anisotropik dengan larutan kalium hidroksida (KOH) dan larutan tetrametil amonia hidroksida (TMAH) sebagai pemunar. Kerja-keIja simulasi telah dijalankan dengan menggunakan perisian proses punaran anisotropik Intellisuite. Berdasarkan geometri struktur penjuru cembung terpunar dan kemunculan satah-satah baru silikon, diafram beralun silikon yang dipunarkan di dalam larutan TMAH didapati mengalami keadaan potong bawah penjuru yang lebih ketara berbanding diafram yang dipunarkan dalam larutan KOH.

Item Type:Article
Keyword:Diafram beralun, punaran anisotropik, satah barn silikon
Faculty or Institute:Faculty of Engineering
Publisher:Universiti Putra Malaysia Press
ID Code:3609
Deposited By: Nur Izyan Mohd Zaki
Deposited On:30 Nov 2009 06:33
Last Modified:27 May 2013 07:09

Repository Staff Only: item control page


Universiti Putra Malaysia Institutional Repository

Universiti Putra Malaysia Institutional Repository is an on-line digital archive that serves as a central collection and storage of scientific information and research at the Universiti Putra Malaysia.

Currently, the collections deposited in the IR consists of Master and PhD theses, Master and PhD Project Report, Journal Articles, Journal Bulletins, Conference Papers, UPM News, Newspaper Cuttings, Patents and Inaugural Lectures.

As the policy of the university does not permit users to view thesis in full text, access is only given to the first 24 pages only.